李思远负责光学系统的设计：“星图院士，我们已经准备好开始构建光刻机的光学模型。通过模拟不同光源和光学配置，我们可以优化光刻机的分辨率和聚焦精度。” 章程中院士专注系统集成：“同时，我们正在设计一套精密的检测系统，它将能够实时监测光刻机的运行状态，包括光源的稳定性、光学系统的对准精度以及机械运动的精度。这将是我们提高光刻机精度的关键。”
